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是什么氣體分流箱

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是什么氣體分流箱

發布日期:2015-05-20 00:00 來源:http://www.adorationmc.com 點擊:

氣體分流箱是將氣體分成若干支路并供應到各個用氣點的設備,一般安裝在工藝設備附近。使用VMB/VMP系統,Hook-up管路將會變短,可減少氣柜的數量,因此可大大減少投資和維護成本。 

1)VMB功能: 

A)設備單獨供氣穩定性高; 

B)便于設備維護,保證管路清潔。 

2)VMB特點: 

A)功能齊全,操作簡單,可完全滿足制程之需要。 

高安全性。帶PN2管路吹掃功能,有調壓措施,二次調壓讓壓力更加穩定。


相關標簽:氣源柜與分流箱

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