關于半導體行業特種氣體氣源柜的研發

    用于半導體工業的特種氣體,又稱電子氣,在半導體器件生產過程中由氣源柜控制與輸送。近幾年來,隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣市場需求明顯增長,其需求越來越大。如何在保證氣源的使用安全的前提下,提高生產效率,方便客戶操作,是特種氣體氣源柜設計的關鍵。 

    根據特種氣體的性質,使用環境,進行氣源柜的研發,重點需要研究半導體行業特種氣體氣源柜的總體方案設計,包括整體產品的設計構思,總體布局,氣體防泄漏設計,惰性氣體保護設計,確定了整機的結構構成；增加了低壓連續吹掃系統,選用自動焊接工藝進行管線連接,加強密封保護措施,在安全性以及外觀性方面同時改善,使其適應市場的需求；運用氣體流量計算,使氣源輸出氣體更精準；針對氣體特殊性質,進行真空測試和壓力測試和可靠性試驗與分析,解決了該產品難點,并Z終達到設計要求,成為國內半導體行業中的領先產品。